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      離子注入氣應用

      東莞市建盟化學有限公司推廣世界知名品牌離子注入氣應用工藝知識。離子注入氣應用包括氣體工業名詞,離子注入是把離子化的雜質,例如P+,B+,A+s加速到高能量狀態,然后注入到預定的襯底上。離子注入技術在控制Vth(閾值電壓)方面應用得最為廣泛。注入的雜質量可通過測量離子束電流而求得。離子注入工藝所用氣體稱離子注入氣,有磷系,硼系和砷系氣體。

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