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      摻雜氣體應用

      東莞市建盟化學有限公司提供世界知名品牌摻雜氣體應用工藝技術。摻雜氣體應用包括在半導體器件和集成電路制造中,將某種或某些雜質摻入半導體材料內,以使材料具有所需要的導電類型和一定的電阻率,用來制造PN結,電阻,埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。主要包括砷烷,磷烷,三氟化磷,五氟化磷,三氟化砷,五氟化砷,三氯化硼和乙硼烷等。通常將摻雜源與運載氣體(如氬氣和氮氣)在源柜中混合,混合后氣流連續流入擴散爐內環繞晶片四周,在晶片表面沉積上化合物摻雜劑,進而與硅反應生成摻雜金屬而徙動進入硅。

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