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      EPI外延片

      EPI外延片

      東莞市建盟化學有限公司經銷世界知名品牌EPI外延片產品。EPI外延片生長方式,等級,直徑,厚度,表面處理,晶向,晶向偏角,摻雜類型,電阻率,薄膜,加工服務。

      產品詳情

      直徑

      4" 

      5" 

      6" 

      8" 

      外延層

      摻雜

      Boron, Phos, Arsenic

       

      晶向

      <100>, <111>

       

      導電類型

      P/P++, N/N++, N/N+, N/N+/N++, N/P/P, P/N/N+

       

      電阻率

      0.001-50 Ohm-cm

       

      電阻率均勻性

      Standard <6%, Maximum Capabilities <2%

       

      外延層厚度 (um)

      0.1-100

       

      厚度均勻性

      Standard <3%, Maximum Capabilities <1%

      襯底

      晶向

      <100>, <111>

       

      導電類型/摻雜元素

      P Type/Boron , N Type/Phos,  N Type/As, N Type/Sb

       

      厚度 (um)

      300-725

       

      電阻率

      0.001-100 Ohm-cm

       

      表面狀態

      P/P, P/E

       

      顆粒度

      <30@.0.5um


      下載資料
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